နိုက်ထရိုဂျင် ထရီဖလိုရိုက် (NF3) မြင့်မားသော သန့်စင်မှုဓာတ်ငွေ့

အီလက်ထရွန်းနစ်စက်မှုလုပ်ငန်းတွင် သန့်စင်ရေးအေးဂျင့်- NF3 သည် အောက်ဆိုဒ်များ၊ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာများ၏မျက်နှာပြင်များ၊ ပလာစမာပြကွက်များ (PDPs) နှင့် အခြားအီလက်ထရွန်နစ်အစိတ်အပိုင်းများကဲ့သို့သော ညစ်ညမ်းအညစ်အကြေးများကို ဖယ်ရှားရန်အတွက် သန့်ရှင်းရေးအေးဂျင့်အဖြစ် တွင်ကျယ်စွာအသုံးပြုသည်။ ဒီမျက်နှာပြင်တွေကို မထိခိုက်စေဘဲ ထိရောက်စွာ သန့်စင်ပေးနိုင်ပါတယ်။

တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်ရာတွင် သတ္တုစပ်ဓာတ်ငွေ့- NF3 ကို ဆီမီးကွန်ဒတ်တာများ၏ ထုတ်လုပ်မှုလုပ်ငန်းစဉ်တွင် etching gas အဖြစ်အသုံးပြုသည်။ ပေါင်းစည်းထားသော ဆားကစ်များကို ဖန်တီးရာတွင် အသုံးပြုလေ့ရှိသော ပစ္စည်းများဖြစ်သည့် ဆီလီကွန်ဒိုင်အောက်ဆိုဒ် (SiO2) နှင့် ဆီလီကွန်နိုက်ထရိတ် (Si3N4) တို့ကို ခြစ်ထုတ်ရာတွင် အထူးထိရောက်ပါသည်။

မြင့်မားသောသန့်ရှင်းမှုရှိသော ဖလိုရင်းဒြပ်ပေါင်းများထုတ်လုပ်ခြင်း- NF3 သည် ဖလိုရင်းပါရှိသောဒြပ်ပေါင်းများထုတ်လုပ်ရန်အတွက် ဖလိုရင်း၏တန်ဖိုးရှိသောအရင်းအမြစ်တစ်ခုဖြစ်သည်။ ဖလိုရိုပိုလီမာများ၊ ဖလိုရိုကာဗွန်များနှင့် အထူးဓာတုပစ္စည်းများ ထုတ်လုပ်ရာတွင် ရှေ့ပြေးအဖြစ် အသုံးပြုသည်။

ပြားချပ်ချပ် မျက်နှာပြင် ထုတ်လုပ်မှုတွင် ပလာစမာ မျိုးဆက်- NF3 ကို အရည်ပုံဆောင်ခဲ ဖန်သားပြင်များ (LCDs) နှင့် PDPs များကဲ့သို့သော ပြားချပ်ချပ် မျက်နှာပြင် ဖန်သားပြင်များ ထုတ်လုပ်ရာတွင် ပလာစမာ ဖန်တီးရန် NF3 ကို အခြားသော ဓာတ်ငွေ့များနှင့်အတူ အသုံးပြုပါသည်။ ပလာစမာသည် အကွက်ထုတ်လုပ်နေစဉ်အတွင်း ထုတ်ယူခြင်းနှင့် ထွင်းထုခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်များတွင် မရှိမဖြစ်လိုအပ်ပါသည်။

ဤပစ္စည်း/ထုတ်ကုန်အသုံးပြုမှုအတွက် သီးခြားလျှောက်လွှာများနှင့် စည်းမျဉ်းစည်းကမ်းများသည် နိုင်ငံ၊ စက်မှုလုပ်ငန်းနှင့် ရည်ရွယ်ချက်အလိုက် ကွဲပြားနိုင်သည်ကို သတိပြုပါ။ ဘေးကင်းရေးလမ်းညွှန်ချက်များကို အမြဲလိုက်နာပြီး ဤပစ္စည်း/ထုတ်ကုန်ကို မည်သည့်အက်ပ်တွင်မဆို အသုံးမပြုမီ ကျွမ်းကျင်သူနှင့် တိုင်ပင်ပါ။